ESE-11は、高真空領域で基板上に金属(Au)を堆積させるための高真空蒸着装置です。蒸着は、4インチホルダーに固定された基板に、タングステンバケット上のAuを加熱蒸着することによって行われます。また、基板を高温に保ちながら、膜厚を水晶振動式膜厚計で制御することにより、極めて均一な蒸着を可能にしました。排気には、磁気浮上広帯域ターボ分子ポンプ、および、油回転ポンプを使用することによって1X10e-6 Pa以下の高真空を実現しました。