プラズマ評価装置

プラズマ環境下における試料の特性を試験、観測する評価装置です。
高真空排気系を備え、Arプラズマを基本とし、N2、O2ガスを導入することができます。
コンダクタンスバルブを構成した自動圧力制御が可能です。
輻射加熱式ヒーターを備えており、昇温試験が可能になっています。

• 試料サイズ　　φ300mm
• 電源　　　　　高周波
• 最高加熱温度　300℃
• PLCラダー制御