製品情報
Product information
- 弊社は研究開発向けオーダーメイドの真空装置・機器の製作を得意としています。
- 取り扱い製品の一部をご紹介します。
- 未掲載の製品やサービスは外部サイトから資料をダウンロードしていただけます。
- 弊社オリジナル製品をはじめ、各種規格部品、メーカー製品を取り扱っております。
- お困りごと解決のお手伝いをいたします。ぜひ弊社をご活用ください。
複合成膜装置
- 積層膜、混合膜 対応
- クラスター型、インライン型 応相談
- 各種成膜方式(蒸着、スパッタ等)対応
- 金属膜、有機膜 対応
蒸着成膜装置
- ロードロックシステム、多層膜、混合膜 対応
- 抵抗加熱蒸着…各種ボート、バスケット 対応
- 電子ビーム蒸着…各種蒸着源、ルツボ 対応
- イオンアシスト成膜 応相談
スパッタ成膜装置
- ロードロックシステム、多層膜、混合膜 対応
- マグネトロンスパッタ…DC、パルスDC、RF 対応
- イオンビームスパッタ…KRI社製イオンソース推奨、その他メーカー 応相談
- 化合物膜(窒化物、酸化物)など 対応
- 2、3、4、6、8インチターゲット 対応
- 基板冷却/加熱、バイアス、イオンアシスト等 応相談
CVD装置
- 熱CVD、プラズマCVD 対応
- 各種プロセス条件 応相談
- メタルチャンバ、管状炉 対応
- プロセスガス供給ユニット(TEOSなど) 応相談
真空熱処理装置
- ヒーターエレメント 応相談
- ~ 2400℃制御 対応
- 高真空排気 対応
- 処理雰囲気 応相談
環境試験装置
- 宇宙開発、素材研究開発など
- 大型チャンバ(最大 内径3m×長さ8m) 実績有
- 各種真空排気系 対応
- 各種試験環境(加熱、極低温、XーY移動)応相談
排気ユニット
- 各種真空排気系 対応
- 特型ステージ、接続口 応相談
その他装置
- ベーキング装置
- プラズマ処理装置
- 各種試験用装置(プラズマ評価、ガス浸透など)
真空機器
- 規格部品
- 加工部品 設計・製造
- SEEDコンポーネント 設計・製造
- 各種メーカー製品
主な製品一覧
Product list
スパッタ成膜装置
Sputter deposition
真空熱処理装置
Vacuum heat treatment