製品情報

Product information

  • 弊社は研究開発向けオーダーメイドの真空装置・機器の製作を得意としています。
  • 取り扱い製品の一部をご紹介します。
  • 未掲載の製品やサービスは外部サイトから資料をダウンロードしていただけます。
  • 弊社オリジナル製品をはじめ、各種規格部品、メーカー製品を取り扱っております。
  • お困りごと解決のお手伝いをいたします。ぜひ弊社をご活用ください。
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複合成膜装置


  • 積層膜、混合膜 対応
  • クラスター型、インライン型 応相談
  • 各種成膜方式(蒸着、スパッタ等)対応
  • 金属膜、有機膜 対応
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蒸着成膜装置


  • ロードロックシステム、多層膜、混合膜 対応
  • 抵抗加熱蒸着…各種ボート、バスケット 対応
  • 電子ビーム蒸着…各種蒸着源、ルツボ 対応
  • イオンアシスト成膜 応相談
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スパッタ成膜装置


  • ロードロックシステム、多層膜、混合膜 対応
  • マグネトロンスパッタ…DC、パルスDC、RF 対応
  • イオンビームスパッタ…KRI社製イオンソース推奨、その他メーカー 応相談
  • 化合物膜(窒化物、酸化物)など 対応
  • 2、3、4、6、8インチターゲット 対応
  • 基板冷却/加熱、バイアス、イオンアシスト等 応相談
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CVD装置


  • 熱CVD、プラズマCVD 対応
  • 各種プロセス条件 応相談
  • メタルチャンバ、管状炉 対応
  • プロセスガス供給ユニット(TEOSなど) 応相談
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真空熱処理装置


  • ヒーターエレメント 応相談
  • ~ 2400℃制御 対応
  • 高真空排気 対応
  • 処理雰囲気 応相談

環境試験装置


  • 宇宙開発、素材研究開発など
  • 大型チャンバ(最大 内径3m×長さ8m) 実績有
  • 各種真空排気系 対応
  • 各種試験環境(加熱、極低温、XーY移動)応相談
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排気ユニット


  • 各種真空排気系 対応
  • 特型ステージ、接続口 応相談
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その他装置


  • ベーキング装置
  • プラズマ処理装置
  • 各種試験用装置(プラズマ評価、ガス浸透など)
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真空機器


  • 規格部品
  • 加工部品 設計・製造
  • SEEDコンポーネント 設計・製造
  • 各種メーカー製品

主な製品一覧

Product list