製品情報

Product information

  • 弊社は研究開発向けオーダーメイドの真空装置・機器の製作を得意としています。
  • 取り扱い製品の一部をご紹介します。
  • 弊社オリジナル製品をはじめ、各種規格部品、メーカー製品を取り扱っております。
  • お困りごと解決のお手伝いをいたします。ぜひ弊社をご活用ください。
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bnr_composite-deposition_01

複合成膜装置

  • 積層膜、混合膜　対応
  • クラスター型、インライン型　応相談
  • 各種成膜方式（蒸着、スパッタ等）対応
  • 金属膜、有機膜　対応
主な製品一覧

【複合成膜装置】へ

bnr_vapor-deposition_01

蒸着成膜装置

  • ロードロックシステム、多層膜、混合膜　対応
  • 抵抗加熱蒸着…各種ボート、バスケット　対応
  • 電子ビーム蒸着…各種蒸着源、ルツボ　対応
  • イオンアシスト成膜　応相談
主な製品一覧

【蒸着成膜装置】へ

bnr_sputter-deposition_01

スパッタ成膜装置

  • ロードロックシステム、多層膜、混合膜　対応
  • マグネトロンスパッタ…DC、パルスDC、RF　対応
  • イオンビームスパッタ…KRI社製イオンソース推奨、その他メーカー　応相談
  • 化合物膜(窒化物、酸化物)など　対応
  • 2、3、4、6、8インチターゲット　対応
  • 基板冷却／加熱、バイアス、イオンアシスト等　応相談
主な製品一覧

【スパッタ成膜装置】へ

bnr_CVD-deposition_01

CVD装置

  • 熱CVD、プラズマCVD　対応
  • 各種プロセス条件　応相談
  • メタルチャンバ、管状炉　対応
  • プロセスガス供給ユニット（TEOSなど）　応相談
主な製品一覧

【CVD装置】へ

bnr_vacuum-heat-treatment_01

真空熱処理装置

  • ヒーターエレメント　応相談
  • ～ 2400℃制御　対応
  • 高真空排気　対応
  • 処理雰囲気　応相談
主な製品一覧

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bnr_environmental-test_01

環境試験装置

  • 宇宙開発、素材研究開発など
  • 大型チャンバ（最大　内径3m×長さ8m)　実績有
  • 各種真空排気系　対応
  • 各種試験環境（加熱、極低温、XｰY移動）応相談
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【環境試験装置】へ

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排気ユニット

  • 各種真空排気系　対応
  • 特型ステージ、接続口　応相談
主な製品一覧

【排気ユニット】へ

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その他装置

  • ベーキング装置
  • プラズマ処理装置
  • 各種試験用装置（プラズマ評価、ガス浸透など）
主な製品一覧

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