真空熱処理
高温真空加熱装置ー2400℃ー

タングステンヒーターを構成した縦型真空熱処理装置です。

製品カテゴリー
真空熱処理
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真空熱処理
高温真空加熱装置ー1800℃ー

タングステンヒーターを構成した縦型真空熱処理装置です。

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真空熱処理
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その他
雰囲気加熱炉

金属ヒーターを構成した最高温度 250℃ での処理が可能な乾燥・ベーキング装置です。

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その他
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CVD
金属熱CVD装置

コールドウォール式の熱CVD装置です。

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CVD
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蒸着成膜
超高真空蒸着装置

抵抗加熱式の蒸着装置となっており、高真空領域で単結晶膜を作製することができます。

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蒸着成膜
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スパッタ成膜装置
超高真空スパッタ成膜装置

斜入射レイアウトのカソードを備えたスパッタ成膜装置です。

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スパッタ成膜装置
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排気ユニット
自動真空排気ユニット

ターボ分子ポンプ、スクロールポンプをコンパクトに組み込んだ自動排気装置です。

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排気ユニット
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スパッタ成膜装置
縦型スパッタ成膜装置

プレーナーカソードを備えた縦型スパッタ成膜装置です。

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スパッタ成膜装置
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環境試験
真空環境試験装置

高真空環境での試験を行う為のスペースチャンバです。

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環境試験
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真空熱処理
真空ベーキング装置

シースヒーターを構成した真空熱処理装置です。

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真空熱処理
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CVD
熱CVD装置

ホットウォール式の熱CVD装置です。

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CVD
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環境試験
極低温環境試験装置

試料を液体窒素に浸し、極低温環境での試験を目的とした高真空排気装置です。

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環境試験
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複合成膜
枚葉式複合成膜装置

超伝導薄膜、金属薄膜、誘電体薄膜を自由な組み合わせで連続成膜することができます。

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複合成膜
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蒸着成膜
抵抗加熱式蒸着装置

抵抗加熱式の蒸着装置となっており、金属膜、有機膜を作製することができます。

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蒸着成膜
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環境試験
小型真空環境試験装置

高真空環境での試験を行う為のスペースチャンバです。

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環境試験
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真空熱処理
大型高温真空加熱装置-1000℃-

モリブデンヒーターを構成した横型真空熱処理装置です。

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真空熱処理
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排気ユニット
多機能補助排気ユニット

スクロールポンプ、シュラウド式コールドトラップをコンパクトに組み込んだ自動排気装置です。

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排気ユニット
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蒸着成膜
多元蒸着成膜装置

超伝導転移端センサ―(TES)に適合するチタン、金の積層膜を作製することができます。

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蒸着成膜
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真空機器
加工部品 設計・製造・販売

金属、樹脂、特殊材料などの加工品の設計、製作を承ります。

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真空機器
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その他
先端研究試験機器

核融合実験における中性粒子分析器(NPA)の駆動装置や駆動型プローブ、ボロメータ等の計測機器の治具、駆動装置などに弊社製品が採用されています。

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その他
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環境試験
低温真空環境試験装置

低温、高真空環境での試験を行う為のスペースチャンバです。

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環境試験
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スパッタ成膜装置
ロードロック式スパッタ成膜装置

超伝導薄膜、金属薄膜、誘電体薄膜を自由な組み合わせで連続成膜することができます。

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スパッタ成膜装置
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その他
プラズマ評価装置

プラズマ環境下における試料の特性を試験、観測する評価装置です。

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その他
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CVD
プラズマCVD装置

容量結合型プラズマ方式のCVD装置です。

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CVD
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排気ユニット
ステンレスフレーム真空排気ユニット

ターボ分子ポンプ、油回転ポンプを組み込んだ手動排気装置です。

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排気ユニット
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真空機器
コンポーネント 設計・製造・販売

弊社オリジナル製品をはじめ、各種規格部品、メーカー製品を取り扱っております。

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真空機器
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スパッタ成膜装置
インライン式超高真空スパッタ成膜装置

超伝導トンネル接合に適合するニオブ、アルミまたこれらの化合物膜を連続成膜することができます。

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スパッタ成膜装置
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複合成膜
インライン式複合成膜装置

超伝導薄膜、金属薄膜、誘電体薄膜を自由な組み合わせで連続成膜することができます。

製品カテゴリー
複合成膜
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複合成膜
インライン式スパッタ成膜装置

超伝導トンネル接合に適合するニオブ、アルミまたこれらの化合物膜を連続成膜することができます。

製品カテゴリー
複合成膜
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