高温真空加熱装置ー2400℃ー

タングステンヒーターを構成した縦型真空熱処理装置です。
最高到達温度2500℃、常用温度2400℃での処理が可能です。
試料はチャンバ下部の付属エレベーターに設置します。
ドライな排気系で構成され、清浄な雰囲気で試料を処理することが可能です。
真空中および水素雰囲気での処理が可能です。

• 有効加熱エリア　φ60㎜、ヒータ中心より±50㎜
• 昇温速度　2400℃／45分 (無負荷)
• プログラム式PID制御
• ターボ分子ポンプ＋ドライポンプ