高温真空加熱装置ー1800℃ー

タングステンヒーターを構成した縦型真空熱処理装置です。
最高到達温度1800℃、常用温度1600℃での処理が可能です。
試料はチャンバ下部の付属エレベーターに設置します。
ドライな排気系で構成され、清浄な雰囲気で試料を処理することが可能です。

• 有効加熱エリア　φ160㎜、ヒータ中心より±225㎜
• 均熱精度　1600℃±20℃
• プログラム式PID制御
• ターボ分子ポンプ＋ドライポンプ