抵抗加熱式蒸着装置

抵抗加熱式の蒸着装置となっており、金属膜、有機膜を作製することができます。
直感的に操作が行える手動装置の為、簡易的な実験を行う研究室、教育機関に適しています。

• ウエハサイズ　最大4インチ×1　(ステージ固定)
• バッチ式
• HV仕様 (1.0×10^-3 Pa以下)
• 抵抗加熱蒸着(金属用、有機用)　最大3元