多機能補助排気ユニット

スクロールポンプ、シュラウド式コールドトラップをコンパクトに組み込んだ自動排気装置です。ターボ分子ポンプなどの高真空排気系の増設が可能です。
水分を多く含む真空容器・試料の排気系、リークテストの補助排気など、多様にご使用頂けます。
異常停止に備える安全回路設計となっています。

• PLCラダー制御
• コールドトラップ用チラー付属(市水、冷媒)
• ドライスクロールポンプ　※ポンプ変更可
• ターボ分子ポンプ増設可