自動真空排気ユニット

ターボ分子ポンプ、スクロールポンプをコンパクトに組み込んだ自動排気装置です。
真空容器・試料の排気系、リークテストの補助排気など、多様にご使用頂けます。
異常停止に備える安全回路設計となっています

• PLCラダー制御
• ターボ分子ポンプ+ドライスクロールポンプ　※ポンプ変更可