ロードロック式スパッタ成膜装置

超伝導薄膜、金属薄膜、誘電体薄膜を自由な組み合わせで連続成膜することができます。
スパッタ成膜法を活かした高品質・高機能な多層膜の作製を可能にしました。
先進技術デバイスの研究・開発に最適化した成膜システムです。

• ウエハサイズ　最大4インチ×1　(専用搬送トレイ)
• ロードロック式、トランスファーロッド式搬送機構
• マルチチャンバ、HVチャンバ対応
• 平板スパッタ、化合物膜 他