多元蒸着成膜装置

超伝導転移端センサ―(TES)に適合するチタン、金の積層膜を作製することができます。
蒸着方式となっており、電子銃、抵抗加熱蒸着を備え、自動での積層が可能です。
超伝導転移端センサ―作製に最適化した蒸着成膜装置です。

• ウエハサイズ　最大4インチ×2　(専用ホルダ)
• バッチ式
• HV仕様 (2.0×10^-5 Pa以下)
• 電子銃蒸着、抵抗加熱蒸着