製品情報一覧

複合成膜
枚葉式複合成膜装置

超伝導薄膜、金属薄膜、誘電体薄膜を自由な組み合わせで連続成膜することができます。

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複合成膜
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複合成膜
インライン式複合成膜装置

超伝導薄膜、金属薄膜、誘電体薄膜を自由な組み合わせで連続成膜することができます。

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複合成膜
インライン式スパッタ成膜装置

超伝導トンネル接合に適合するニオブ、アルミまたこれらの化合物膜を連続成膜することができます。

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複合成膜
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